維修愛德華分子泵維修要注意哪些細(xì)節(jié)? 感謝回答
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  • 當(dāng)愛德華分子泵維修M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時(shí),請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

  • 檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,愛德華分子泵維修出口是否打開,機(jī)械泵油是否太臟,機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn),系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險(xiǎn)絲被燒毀了。更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路。

  • 愛德華分子泵維修不能在大氣中打開,必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵

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