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各位大佬誰清楚,愛德華分子泵控制器維修要注意什么內容?
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  • 當愛德華分子泵控制器M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • 當愛德華分子泵控制器出現故障無法使用時,應暫停生產,并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。
  • 當出現警告信息“ EF”時,檢查冷卻水通道是否暢通,并用機q進行檢查。 在再次打開愛德華分子泵控制器之前,請確保水路暢通。 當出現其他報警信號時,嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
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