網(wǎng)友們請賜教!維修Edwards進(jìn)口分子泵時需要注意什么?
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  • 當(dāng)Edwards進(jìn)口分子泵M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • 打開Edwards進(jìn)口分子泵之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關(guān)閉冷卻水閥。
  • 當(dāng)Edwards進(jìn)口分子泵未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時,必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。
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