請(qǐng)問:維修Edwards真空分子泵要注意哪些細(xì)節(jié)?
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  • 打開Edwards真空分子泵之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關(guān)閉冷卻水閥。
  • 當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí),檢查冷卻水通道是否暢通,并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵之前,請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí),嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。
  • Edwards真空分子泵每次停機(jī)后,必須清洗每個(gè)分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。
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