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維修Edwards進口分子泵時需要注意什么？ 急需賜教
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  • Edwards進口分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上，以防止松弛引起的空氣泄漏
  • 打開Edwards進口分子泵之前，必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后，必須關閉冷卻水閥。
  • 當Edwards進口分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時，必須根據故障提示進行處理。
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