大神賜教!Edwards真空分子泵維修需要注意什么呢?
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  • 當出現警告信息“ EF”時,檢查冷卻水通道是否暢通,并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵之前,請確保水路暢通。 當出現其他報警信號時,嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
  • 打開Edwards真空分子泵之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關閉冷卻水閥。
  • Edwards真空分子泵每次停機后,必須清洗每個分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。
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