分子泵是一種用于實現(xiàn)和維持高真空及超高真空環(huán)境的設(shè)備。以下是對其的詳細介紹：分子泵的中文名即為“利用高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子”傳輸氣體分子的一種動量型真空泵，通過把動量傳遞給氣體分子來使其獲得定向速度并被壓縮、驅(qū)向排氣口后被前級抽走。其中牽引式的工作原理為簡式的轉(zhuǎn)子上或定子圓柱面開有溝槽（如矩形槽等），可以充分利用外圓較高的線速度對氣體進行更好的傳遞；復(fù)合型的還結(jié)合了渦輪式結(jié)構(gòu)的特點來提。工作過程可概括為以下幾個步驟:分子內(nèi)部的高速旋轉(zhuǎn)的葉片(或稱轉(zhuǎn)子)以每分鐘數(shù)萬的速度運轉(zhuǎn)形成間隙→在碰撞到這些葉片時,原本雜亂無章的氣體分子被賦予動能并獲得沿特定方向的加速→經(jīng)過多級結(jié)構(gòu)的多次碰撞后逐步排出至系統(tǒng)外部，每一級的壓力均有所降低直至達到所需的高/超高度真空狀態(tài)為止。它能在較寬的壓力范圍內(nèi)((10^-6\~大氣）有效工作且無污染產(chǎn)生。。應(yīng)用領(lǐng)域憑借上述特性優(yōu)勢,它在多個高科技領(lǐng)域中發(fā)揮著重要作用:包括半導(dǎo)體制造中的除雜保質(zhì)、光學(xué)鍍膜和高精度元件生產(chǎn)所需的潔凈環(huán)境以及材料科學(xué)中各類薄膜納米材料的制備研究等等;此外也常見于食品加工去味提純、藥品制造和研究實驗室等多種場合之中以確保相關(guān)操作的質(zhì)量和效率符合要求并推動科技進步發(fā)展。