渦輪分子泵故障處理主要包括以下幾個方面：1.極限真空度低的處理方法。當發現極限真空度過低時，首先要檢查前級泵的匹配情況和抽氣量是否充足；其次要查找系統是否存在漏氣現象并進行消除操作；還需要對渦輪分子泵進行烘烤除氣的處理（溫度不應高于150℃）。如果以上措施都無效的話就需要考慮更換新的設備了。此外也要注意在使用過程中要避免光照或者熱源的影響導致溫度升高從而降低工作效率以及損壞設備等問題發生哦！2.泵體及轉子發熱、葉片變形的處理方法為避免在磁場中運轉或者在必要時使用隔磁材料來降低影響程度，當然啦也要記得定期檢查水冷或風冷系統的運行狀況是否正常，如果發現異常就要及時進行維修或更換相關部件才行。