渦輪分子泵在使用過程中可能會遇到多種常見故障，以下是對這些故障的歸納：極限真空度低：這可能是由于前級泵的抽氣量不足、系統漏氣或者是泵體出氣等原因導致的。解決此類問題通常需要重新選配合適的前級泵、查出并消除漏處或對泵進行烘烤除氣的操作等。運轉中發熱和噪音大：如果運行中渦輪葉片變形或者軸承潤滑不良可能會導致過熱現象；而轉子動平衡不好或者是軸承損壞則可能引發較大的振動與噪聲問題。對此類故障可以通過避免磁場影響使用隔磁材料以及檢查修復油路等方式進行處理和解決。。?真空度下降?：可能是由于密封性能不佳或內部組件磨損。需要檢查密封圈和排氣口是否有問題??氣體泄漏?：可能是由于法蘭連接處密封不良、泵體材料老化或密封圈磨損。需要檢測并修復泄漏點??過熱?：可能是由于冷卻系統失效或泵體摩擦加劇。需要檢查冷卻系統和清理泵體灰塵??電氣故障?：可能是由于電源故障或控制信號干擾。需要檢查電源和控制系統??轉子卡滯?：可能是由于灰塵阻塞或長期未清理。需要檢查并清理泵體?