潽拓光電：氦氣檢漏儀維修

?氦氣檢漏儀（氦質譜檢漏儀）的維修主要包括機械泵故障處理、分子泵故障處理以及質譜室故障處理等幾個方面?。?機械泵故障處理?：機械泵無法啟動：檢查電源電壓是否正常，開關是否打開，繞組是否斷路或接地，電機是否過熱（泵冷卻后是否能啟動）?。機械泵聲音異常：檢查油位是否合適，油質是否變質，油溫是否過高，以及油霧過濾器的出口是否有氣體排出（如無氣體排出，需更換油霧過濾器）?。?分子泵故障處理?：TMP顯示為0（分子泵沒有工作）：可能是前級壓力過高（分子泵啟動壓力通常為200Pa）導致分子泵無法啟動，需檢查真空規管、分子泵出口、機械泵油及機械泵旋轉情況；也可能是分子泵的葉片或轉子損壞，需用工具撥動葉片檢查是否能轉動；還可能是電路板上的保險絲燒斷或電路板設置開關處于錯誤位置，需更換保險絲或檢查短路現象，并將電路板設置開關置于正確位置?。分子泵加速指示燈不亮：更換保險絲或檢查是否有短路現象?2。分子泵故障燈亮：檢查電路板設置開關位置是否正確，以及風扇是否正常運行，如風扇正常則可能為分子泵電源故障?。?質譜室故障處理?：燈絲無法正常啟動：在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態后，若燈絲仍無法發射離子流，則需要更換離子源；若燈絲指示燈閃爍，需檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，以及接線柱與其他接頭是否導通?