Pfeiffer真空泵保養拆解操作指南一、準備工作1. 安全措施：斷電并泄壓，確保泵體溫度降至室溫，佩戴防護手套及護目鏡2. 工具準備：扳手、內六角套筒、無塵布、真空油脂、密封膠、超聲波清洗機二、拆解流程1. 外部組件拆卸：- 拆除進氣口/排氣口法蘭- 卸下電機聯軸器防護罩- 斷開冷卻水管路（水冷機型）- 分離電機與泵體連接螺栓2. 組件分解：① 轉子系統：- 使用拉拔器拆卸葉輪組件- 按順序分解各級轉子與定子模塊- 標記齒輪箱各齒輪嚙合相位② 密封系統：- 取出機械密封組件（干式泵）- 檢查油封完整性（油潤滑泵）- 清理密封腔體殘留物3. 輔助系統處理：- 拆卸真空計接口- 檢查過濾器堵塞情況- 清理油霧分離器（如有）三、清潔與檢查1. 使用溶劑超聲清洗金屬部件（20kHz/30min）2. 檢查轉子動平衡（允許偏差≤0.5g·mm）3. 測量軸向間隙（標準值0.03-0.05mm）4. 檢測軸承游隙（應＜0.01mm）四、組裝規范1. 按反向順序裝配，確保各部件定位銷對齊2. 密封面涂抹真空脂（APIE GL-5級）3. 分階段預緊螺栓（扭矩值參照手冊±5%）4. 聯軸器校準（同軸度≤0.02mm）五、注意事項1. 禁止使用清洗陶瓷部件2. 油潤滑泵需更換ISO VG 100真空油3. 復合分子泵需保持渦輪葉片原裝配向4. 重組后需進行24小時磨合運行（30%負載）維護周期建議：連續運行2000小時或真空度下降15%時進行保養。特殊工況應縮短至1000小時維護。建議保留拆解過程影像記錄以備查驗。涉及磁懸浮軸承等精密部件時，建議返廠維護。