分子泵過流保護維修方法

分子泵過流保護維修方法分子泵過流保護觸發通常由電流異常升高引起，可能由機械卡阻、電路故障或負載異常導致。以下是維修流程及注意事項：1. 故障診斷 - 斷電檢查：首先斷開電源，使用萬用表測量電機繞組阻值，判斷是否存在短路或斷路。三相電機需檢測各相間阻值是否平衡。 - 機械檢查：手動旋轉葉輪，確認是否存在卡滯或異物。若阻力異常，需拆解泵體檢查軸承磨損、葉片變形或油污堆積。 - 電路檢測：檢查驅動板IGBT模塊、電容是否擊穿，重點排查過流保護繼電器及電流傳感器的輸出信號是否正常。2. 維修步驟 - 清理維護：若因油污導致摩擦增大，需用無塵布蘸取清洗劑清理轉子腔及軸承部位，更換老化密封圈。 - 更換部件：損壞的軸承需選用原廠同型號產品，安裝時使用液壓工具保證軸向預緊力符合標準（通常0.02-0.05mm間隙）。 - 電路維修：燒毀的MOSFET或驅動芯片需更換，重新焊接后需用示波器檢測PWM波形是否正常，確保電流波動在額定值±10%以內。3. 調試校準 - 空載試運行：上電后以20%額定轉速運行30分鐘，監測電流是否穩定（通?！軜朔Q電流的60%）。 - 逐步升速測試：每15分鐘提升25%轉速至全速，記錄振動值（應＜4.5mm/s）和溫度（軸承溫升≤40℃）。4. 預防措施 - 定期更換潤滑脂（建議2000小時/次），使用黏度等級VG32以上的真空油脂。 - 安裝入口過濾器（精度≤10μm），防止顆粒物進入泵腔。 - 每季度檢測接地電阻（≤4Ω），避免靜電積累導致控制板故障。注意事項：維修需在Class100以上潔凈環境進行，拆裝轉子需使用平衡夾具。若反復觸發過流保護，可能為分子泵與真空系統匹配不當，需重新計算負載曲線。復雜故障建議聯系原廠技術支持，避免盲目操作擴大損傷。