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軸流分子泵維修注意事項
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  • 軸流分子泵維修注意事項軸流分子泵是真空系統設備,維修需遵循嚴格規范以確保性能與安全性。以下為維修關鍵注意事項:1. 安全操作前置條件 - 維修前必須斷電并泄壓,避免殘余氣體或高速旋轉部件引發事故。 - 佩戴防靜電手環及無塵手套,防止靜穿精密部件或污染內部腔體。 - 使用工具拆卸,禁止強行撬動泵體,避免葉輪變形或軸承損傷。2. 拆裝流程規范 - 按說明書順序拆卸轉子組件,記錄每級葉輪與定子的相?暈恢茫樂怪刈按砦弧? - 檢查高速電機軸承預緊力,拆卸時使用拉拔器避免敲擊導致軸承受損。 - 密封圈及O型圈需一次性更換,禁止重復使用已壓縮老化的密封件。3. 清潔與檢查要點 - 使用無塵室環境(至少千級潔凈度)清潔葉輪表面顆粒物,采用超聲波清洗+高純氮氣吹掃。 - 重點檢查轉子葉片邊緣是否缺損,定子流道有無劃痕(超過5μm需拋光處理)。 - 磁懸浮軸承需檢測線圈阻抗與間隙傳感器數據,排除電磁干擾風險。4. 性能驗證與調試 - 組裝后需低速空載運行2小時,監測振動值(應<1.5mm/s)與異響。 - 使用氦質譜檢漏儀檢測密封面,泄漏率需<1×10?? Pa·m3/s。 - 終真空度測試應達到額定指標的90%以上,否則需重新校準動平?狻?/p>5. 維護周期管理 - 每2000小時更換潤滑脂(全氟聚醚型),避免油脂碳化導致軸承卡滯。 - 建立維修檔案,記錄轉子?膠獠問⒅岢心ニ鵒康裙丶蕁? 特殊提示:涉及分子泵渦輪葉片維修需返廠處理,自行焊接可能破壞動平衡精度。維修后需進行72小時持續抽氣測試,確保長期運行穩定性。
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