分子泵是一種用于產生高真空或超高真空環境的關鍵設備，廣泛應用于科研、工業制造和精密儀器領域。其功能是通過物理方式將密閉空間內的氣體分子持續排出，從而將氣壓降至10???至10?11帕的超低范圍，為敏感工藝提供無干擾的真空環境。工作原理分子泵主要分為渦輪分子泵和牽引分子泵兩類。渦輪分子泵通過多層高速旋轉的轉子葉片（轉速可達3萬-9萬轉/分鐘）與靜止定子葉片的交替組合，對氣體分子進行動量傳遞。當氣體分子與高速旋轉的葉片碰撞時，會沿著特定方向被逐級壓縮，終被前級泵排出。牽引分子泵則依?扛咚僮謀礱嬗肫宸腫蛹淶釀ぶ妥饔檬迪質湓耍屎洗斫細咼芏鵲鈉濉?/p>應用1. 半導體制造：在光刻機、離子注入機中維持潔凈真空，防止納米級電?肺廴荊?/p>2. 科研儀器：電子顯微鏡、粒子?⒅?譜儀等需要超高真空保障檢測精度；3. 航天科技：組件測試時模擬太空真空環境；4. 鍍膜工藝：光學鍍膜、光伏電池生產中的物理氣相沉積（PVD）。 技術優勢相比油擴散泵，現代分子泵采用磁懸浮軸承技術，完全無油污染，啟動時間縮短至30分鐘內。其抽氣速度可達1000升/秒以上，且能直接連接被抽容器，無需冷阱裝置。特殊設計的復合分子泵甚至能處理輕微粉塵環境。### 使用要點需要配合羅茨泵等前級泵組成抽氣系統，工作溫度需控制在-10℃至40℃。日常維護需重點關注軸承潤滑和振動監測，典型使用壽命可達5-8年。隨著科技發展，新一代分子泵正朝著10?13帕極限真空和智能化監控方向演進。作為現代精密工業的"真空心臟"，分子泵的技術水平直接關系到芯片制程、新材料研發等領域的發展進程，其重要性在科技革新中日益凸顯。