渦輪分子泵使用方法

渦輪分子泵是一種高真空獲取設備，廣泛應用于半導體、鍍膜、科研等領域。正確使用可延長泵體壽命并確保性能穩定，操作流程如下：一、安裝與準備 1. 安裝環境需干燥、無塵，避免振動源，泵體垂直固定于平穩基座。 2. 連接前級機械泵（如旋片泵），確保管路密封性，使用金屬波紋管減少振動傳導。 3. 檢查泵體油位（若為油潤滑型）或軸承狀態（無油磁懸浮型），冷卻水管路需通暢。二、啟動與運行 1. 先啟動前級泵，待系統真空度達到10-100Pa范圍后（具體參照說明書），再啟動渦輪分子泵電源。 2. 低速預熱：部分型號需在低轉速（如20%額定轉速）運行5-10分鐘，避免熱應力損傷轉子。 3. 逐步升至全速，通過控制面板監控轉速、溫度及振動值，正常運行時噪音應平穩無異常。三、使用注意事項 1. 禁止帶載啟動：必須在前級真空達標后通電，防止高速葉片承受過大氣體阻力。 2. 防顆粒物吸入：入口處加裝金屬濾網，避免塵?；蛩樾甲矒艮D子導致動平衡失效。 3. 溫度控制：持續運行需確保水冷系統有效，殼體溫度建議低于60℃。 4. 防返油設計：停機時前級泵應延遲關閉，防止機械泵油蒸汽倒灌污染泵腔。四、關機與維護 1. 停機順序：先關閉分子泵電源，待轉速歸零后（約10-30分鐘）再關前級泵。 2. 若長期停用，需充入干燥氮氣保持泵內清潔，每月通電低速運轉一次防止軸承卡滯。 3. 定期檢查軸承潤滑狀態（每2000小時），更換磨損密封圈，使用檢漏儀排查氣密性。安全提示：運轉時禁止觸碰泵體，高速轉子（通常數萬轉/分）意外接觸可能造成嚴害。突發停電需立即關閉電?純兀苊獾繽指詞弊遠仄羲鴰瞪璞?。遵循甚r齬娉炭扇繁Ｎ新址腫穎夢榷ㄔ誦?，乞滪寿命考?3-5年以上。