潽拓光電：渦輪分子泵拆解

渦輪分子泵拆解操作指南一、安全準備1. 切斷電源并靜置24小時以上，確保泵體完全泄壓2. 佩戴防靜電手環、護目鏡及防塵口罩3. 準備工具：陶瓷扳手、無塵布、高真空潤滑脂、氮氣吹掃裝置二、拆解流程（1）外部組件拆卸- 拆除真空法蘭接口（使用六角扳手逆時針松脫）- 卸除冷卻水管接頭（注意收集殘留冷卻液）- 斷?緇繚聰嘸白俅釁鶻油?/p>（2）組件分解1. 轉子組件：使用拉拔器垂直取出轉子組，保持0.1mm/s勻速2. 軸承系統：80℃熱風均勻加熱軸承座，分解陶瓷軸承與軸套3. 渦輪葉片組：按編號順序拆除20-40級葉輪（間隔0.5mm墊片需單獨存放）4. 定子組件：拆卸導流環時避免觸碰表面鍍層三、注意事項1. 潔凈度控制：在ISO 5級潔凈環境操作，相對濕度≤45%2. 防靜電處理：所有零件須置于接地的防靜電托盤3. 標記管理：使用激光刻錄筆標記配合相位標記4. 數據記錄：拍攝各組件拆卸方位照片并建立三維坐標記錄四、部件存儲- 轉子組件?捍怪斃矣諍鬮潞閌洌?2±1℃）- 陶瓷軸承：浸泡在真空脂中密封保存- 金屬密封圈：單獨封裝于氮氣填充袋拆解后需進行動平衡檢測（殘?嗖黃膠飭坑Γ?0.5g·mm）和氦質譜檢漏（漏率＜1×10^-9 Pa·m3/s），建議由持有ULVAC或LEYBOLD認證的技術人員操作。整個拆解過程應控制在6小時內完成，避免大氣污染物吸附。