分子泵使用注意事項

分子泵作為高真空系統的設備，其穩定運行直接影響真空環境質量與設備壽命。使用時需注意以下事項： 一、安裝與啟動前準備1. 水平安裝：確保泵體水平放置（偏差≤0.1mm/m），避免軸承偏載磨損。安裝基座需具備隔振功能，防止外部振動傳遞。2. 管路匹配：連接管道直徑應≥泵口尺寸，彎頭使用大弧度設計（推薦曲率半徑≥3倍管徑），減少氣流阻力。前級泵抽速需滿足分子泵排氣要求。3. 預清潔處理：使用前需用無?掖疾潦帽們唬⒂酶稍锏瞪?，确保无颗粒残留。系统检漏需达到?×10?? Pa·m3/s的漏率標準。 二、運行操作規范1. 分級啟動：先開啟前級泵（建議羅茨泵+旋片泵組合）??待前級真空達5Pa以下再啟動分子泵，避免高壓差損壞轉子。采用軟啟動模式控制轉速爬升率（建議≤60Hz/s）。2. 溫度監控：運行中泵體溫度應穩定在40-60℃區間，配套水冷系統流量需≥2L/min，風冷機型需保證通風量＞200m3/h。軸承溫度超過80℃應立即停機檢查。3. 防返油保護：停機時需先關閉高真空閥，保持前級泵運行30分鐘以上，待分子泵轉速降至10%以下再關閉電源。建議配置電磁隔離閥實現自動時序控制。 三、維護與故障預防1. 潤滑管理：油潤滑軸承每2000小時更換ISO VG32潤滑油，脂潤滑型需每半年補充特種潤滑脂（如Krytox GPL207）。注意觀察油窗液位，消耗量異常需排查密封。2. 振動監測：定期用振動分析儀檢測（頻率范圍10-2000Hz），軸向振動速度應＜1.2mm/s，超標時需做動平衡校正（殘余不平衡量≤1g·mm/kg）。3. 污染防護：在鍍膜、濺射等工藝中，需加裝冷阱或擋板，防止金屬蒸氣回凝。若吸入顆粒物，應立即用超聲清洗葉輪（頻率40kHz，清洗劑pH值6-8）。 四、特殊工況處理1. 突發斷電：配置UPS電源維持至少10分鐘供電，確保完成停機流程。斷電后嚴禁手動盤車，避免軸承劃傷。2. 低溫環境：當環境溫度＜5℃時，需預熱2小時再啟動。儲存溫度低于-20℃會導致軸承潤滑失效。3. 腐蝕性???捍鞢l?、H?S等氣體時，應選用耐腐蝕涂層轉子（如Al?O?陶瓷涂層），并在停機后使用惰性氣體充分吹掃。建議每半年使用氦質譜檢漏儀檢測系統密封性，建立運行日志記錄轉速、溫度、真空度等參數變化趨勢。通過規范操作與預防性維護，可使分子泵使用壽命延長至5-8萬小時。