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潽拓光電：分子泵技術支持
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  • 分子泵技術支持要點分子泵作為現代高真空系統的設備，其技術支持對保障系統穩定運行至關重要。以下是關鍵支持領域：1. 原理與工作模式： * 技術支持需清晰闡述其基于高速旋轉葉片（渦輪級）撞擊氣體分子實現動量傳遞，以及牽引級通過溝槽結構拖拽氣體分子的復合工作原理。 * 說明分子泵依賴前級泵（如旋片泵、干泵）建立預真空才能工作，形成“前級泵+分子泵”的標準機組配置。2. 關鍵應用場景： * 半導體制造： 光刻、刻蝕、薄膜沉積（PVD， CVD）等工藝環節依賴其提供潔凈、穩?ǖ母噠嬋棧肪常?0?? Pa 至 10?? Pa）。 * 科研： 同步輻射、粒子、表面分析（如XPS， AES）、材料科學等前沿領域需要其創造超高真空環境（
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