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磁懸浮分子泵技術咨詢
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  • 磁懸浮分子泵(MagneticLevitationMolecularPump)代表了現代真空技術的前沿,其技術在于利用主動磁懸浮軸承(ActiveMagneticBearings,AMB)取代傳統機械軸承,實現轉子的無接觸懸浮和高速旋轉(轉速通常高達數萬轉/分鐘)。優勢與特點:1.完全無油無污染:軸承潤滑油蒸汽對真空腔室的污染,是獲得超高/極高真空(UHV/XHV)和潔凈真空環境的必備技術,尤其對半導體、精密光學鍍膜等敏感工藝至關重要。2.超高轉速與極限真空:磁懸浮技術克服了機械摩擦和磨損限制,轉子可達到更高轉速(通常40,000-90,000RPM),顯著提升泵的抽速(尤其在分子流區域),并實現更低的極限真空(可達10^{-10}Pa甚至更低)。3.極低振動與噪聲:無機械接觸大幅降低振動和噪聲,提升?芤瞧鰨ㄈ緄繾酉暈⒕怠⒅?譜儀)的工作穩定性和??量精度。4.免維護與長壽命:消除機械磨損,軸承壽命理論長(主要取決于電子元件壽命),大幅降低維護成本和停機時間。5.高可靠性與智能控制:內置傳感器實時監測轉子位置、振動等參數,控制系統可自動調整維持穩定懸浮,具備故障診斷和主動保護能力。主要應用領域:*半導體制造:光刻機、刻蝕、PVD/CVD等工藝的腔室抽氣。*鍍膜:光學鍍膜、Low-E玻璃鍍膜、太陽能電池鍍膜等。*表面分析:電子顯微鏡(SEM,TEM)、X射線光電子能譜(XPS)、俄歇電子能譜(AES)等。*高能物理與核聚變:粒子、托卡馬克裝置等。*科研與精密儀器:質譜儀、同步輻射光源、真空計量標準等。*:質子/重離子等。技術參數考量:*抽速(PumpingSpeed):針對特定氣體(如N2)的抽氣能力(L/s或m3/h)。*極限真空(UltimatePressure):泵能達到的壓力(Pa或mbar/Torr)。*壓縮比(CompressionRatio):對特定氣體(如H2,He)的出口壓力與入口壓力之比,??量泵處理輕質氣體的能力。*功耗(PowerCumption)*入口法蘭尺寸(InletFlangeSize)*冷卻方式(CoolingMethod):水冷/風冷。*控制接口(ControlInterface):RS232/485,Ethernet,Profibus等。*振動水平(VibrationLevel)*噪聲水平(NoiseLevel)咨詢建議:在選擇磁懸浮分子泵時,請務必明確您的具體需求:*目標真空度要求?*所需抽速范圍?(考慮腔室體積、放氣率、工藝氣體流量)*應用環境?(對潔凈度、振動、噪聲的要求)*需要處理的工藝氣體成分?(特別是輕質氣體如H2,He)*預算和維護策略?建議咨詢真空設備供應商(例如廣州潽拓),提供詳細工藝參數,以便獲得針對您應用場景的型號推薦和技術方案。主流品牌包括Edwards(Atlas系列)、PfeifferVacuum(HiPace系列)、Ebara(i-Mag系列)、KYKY(F系列)、Leybold(MAGiNTEGRA/MAGiQ系列)等。磁懸浮分子泵憑借其的潔凈度和性能,已成為制造和科研領域不可或缺的關鍵設備。
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