渦輪分子泵（TMP）是現代高/超高真空系統的設備，通過高速旋轉的渦輪葉片與氣體分子碰撞實現定向抽氣。其技術特點與選型需關注以下要素：一、關鍵性能參數1.極限真空：TMP可達10??~10?1?Pa，半導體、表面分析等超凈環境需選擇10??P產品。2.抽速（L/s）：根據腔體容積和工藝氣體量計算。常見范圍50~5000L/s，需匹配實際需求（如500L/s可滿足中型鍍膜腔）。3.壓縮比：對氫氣的壓縮比是關鍵指標（通常10?~10?），影響系統終真空度。二、選型考量-軸承技術：-磁懸浮軸承：零磨損、免維護，振動小，適用精密儀器（如電鏡），但成本高。-陶瓷滾珠軸承：，需定期維護（建議2-3年更換），適用工業量產設備。-前級泵匹配：需配置旋片泵或干泵作為前級，抽速建議不低于TMP的1/10（例：500L/sTMP配≥50L/s前級泵）。-氣體兼容性：腐蝕性氣體（如Cl?、HF）需選擇特殊涂層葉輪（氮化鈦涂層等），避免腐蝕損傷。三、使用注意事項1.啟動保護：必須在≤1Pa下啟動（避免葉片過載），建議配備壓力聯鎖保護。2.振動控制：精密測量場景需選擇振動值100,000小時。>建議：半導體工藝優先考慮磁懸浮泵；工業鍍膜可選陶瓷軸承泵。務必提供具體工況（目標真空、氣體種類、預算），以便推薦型號。如需進一步探討具體型號對比或故障解決方案，請聯系潽拓提供詳細應用參數。