分子泵作為高真空系統的部件，其潔凈度直接影響真空度、抽速及使用壽命。污染沉積（如油污、顆粒、化學殘留）會顯著降低泵性能，甚至導致軸承卡死或葉片損壞。定期、規范的清潔保養是維持其佳性能與可靠運行的關鍵。

清潔操作流程(務必在泵完全冷卻、斷電并恢復常壓后進行)：

1.安全拆卸：佩戴潔凈手套，使用工具小心拆卸泵入口法蘭、出口管道及排氣閥組件（若適用）。注意保護各密封面。

2.初步除塵：使用干燥、無油、低壓力的潔凈壓縮空氣或氮氣，從入口向出口方向吹掃泵腔內部及葉片表面，去除松散顆粒。

3.溶劑清洗()：

*選擇溶劑：推薦使用高純度異(IPA)或。嚴禁使用含氯溶劑（如、）或強腐蝕性溶劑。

*操作：用無塵布或無紡布蘸取適量溶劑，輕柔擦拭泵腔內部、轉子、定子葉片等所有可見表面。頑固油污可稍作浸潤后擦拭。避免溶劑浸泡軸承區域。

*關鍵部位：重點清潔各級轉子葉片頂部、側面及定子流道表面。

4.沖洗與干燥：

*用新鮮溶劑沖洗擦拭過的表面，溶解并帶走殘留污物和溶解物。

*立即用大量潔凈干燥的壓縮空氣或氮氣吹干泵內所有部件，確保無任何溶劑或水分殘留。可置于潔凈環境中自然干燥數小時。

5.部件清潔：單獨清潔拆卸下的法蘭、密封圈（檢查老化/變形，必要時更換）、過濾器等。密封圈清洗后需涂抹適量真空脂（如適用）。

6.檢查與組裝：

*仔細檢查泵腔內、葉片有無損傷、變形或嚴重腐蝕。檢查軸承是否順暢（手動輕轉轉子）。

*確保所有部件完全干燥、潔凈。按正確順序和方向（尤其密封圈）小心回裝，使用新密封圈（若舊圈狀態不佳），按規定力矩擰緊法蘭螺栓。

建議：對于嚴重污染或性能顯著下降的泵，或涉及特殊污染物（如聚合物、鹽類），強烈建議將泵返廠或交由維修中心進行深度清潔與維護，以確保佳效果和泵的安全運行。

遵循以上規程進行定期、規范的清潔保養，能有效清除分子泵內部污染物，地恢復并維持其抽氣性能，顯著延長使用壽命，保障高真空系統穩定運行。