返油現象是指分子泵在運行或停機過程中，其內部的潤滑油（或潤滑脂）蒸氣、微小液滴或裂解產物逆向擴散或倒流回被抽真空腔室的現象。這會造成腔室、樣品或工件的嚴重污染，尤其在半導體、光學鍍膜、表面分析等高潔凈領域危害極大。

返油主要原因：

1.油擴散與反擴散：高溫下泵油蒸氣會向真空度更高的腔室方向擴散。

2.溫度梯度與重力：停機冷卻時，泵體溫度下降快于泵芯，內部油蒸氣冷凝回流；重力作用使液態油流向低溫、低處。

3.閥門密封不嚴：泵入口隔離閥關閉不嚴或存在微小泄漏。

4.泵體設計/狀態：某些泵型或維護不良的泵（如油位過高、油質劣化）返油率更高。

返油是分子泵應用中的重大風險。處理在于快速隔離、清潔、嚴格驗證。建立完善的預防性維護制度和規范操作流程，是減少返油發生及其損失的根本之道。