渦輪分子泵作為高精度真空設備，其調試是保障性能與可靠性的關鍵環節，需嚴格遵循以下步驟：

一、調試前準備

*環境確認：確保泵體安裝穩固，冷卻水路/風道暢通，環境清潔無塵，振動源遠離設備。

*電源與信號：檢查電源電壓、頻率匹配控制器要求，正確連接轉速信號、狀態反饋及聯鎖保護線路。

*系統密封：對泵入口及連接管路進行檢漏（推薦氦質譜檢漏），確保達到基礎真空要求（通常優于10?2Pa）。

二、啟動與初運行

1.低速啟動：接通控制器電源，執行低速啟動程序（通常為額定轉速的10-20%），此時泵內葉片開始旋轉但未形成有效抽氣。

2.預熱與監測：低速運行約15-30分鐘，使軸承充分潤滑并均勻熱膨脹。密切監控軸承溫度、振動值及電流波動，異常立即停機。

3.階梯升速：確認低速運行穩定后，控制器按預設程序逐步提升轉速（如30%→50%→80%→100%）。每階段停留數分鐘，持續監測溫度、振動、電流是否在安全范圍內。

4.建立高真空：達到額定轉速且運行穩定后，泵才具備大抽速能力。嚴禁在未達到全速前打開前級閥或向泵入口引入大量氣體。

三、性能驗證

*極限真空測試：關閉被抽容器所有氣源，記錄系統達到的低壓力，對比泵技術指標。

*抽速測試(可選)：使用標準漏孔或流量計向系統引入已知氣體流量，測量平衡壓力，計算實際抽速。

*穩定性檢查：全速運行數小時，持續記錄關鍵參數（溫度、振動、電流、真空度），確保無漂移或異常波動。

四、安全與注意事項

*嚴禁帶載啟動：必須在泵達到全速穩定運行后，才能逐步開啟前級閥和主閥。

*嚴防異物與返油：確保被抽容器潔凈，防止顆粒物進入泵腔損壞葉片；泵停轉后需及時充入干燥氮氣保護，防止前級泵油蒸汽返流污染。

*實時監控：運行中務必持續關注軸承溫度和振動值，它們是判斷軸承狀態的敏感指標。

*規范停機：使用控制器執行正常停機程序（通常包含降速和斷電），避免急停造成軸承損傷。

遵循規程精細調試，可顯著提升渦輪分子泵的工作效率、真空性能及使用壽命，確保設備長期穩定運行。