磁懸浮分子泵返油是指泵內潤滑油或前級泵的油蒸氣在特定條件下（如停機、溫度變化、密封失效）倒流回高/超高真空腔體的現象。這不僅污染腔體、樣品或工藝，降低真空度，更可能嚴重影響產品良率或實驗結果。
返油是磁懸浮分子泵應用中的重大威脅。處理需及時隔離、清潔腔體（尤其烘烤）、修復泵體密封與狀態。更關鍵的是系統性預防：嚴格執行啟停規范、加裝吸附阱/冷阱、保障密封、管理前級泵并進行有效監控，方能大限度避免返油發生，保障真空系統的潔凈與運行。
進口分子泵技術服務
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幫忙一下，Edwards進口分子泵要怎么維修？
Edwards進口分子泵為何會發生半邊熱，半邊冷的現象？ 原因：附近有光照或其他熱源 解決方法：避免光照或熱源 全文
哪位知道Edwards真空分子泵維修有哪些特點？
Edwards真空分子泵維修系列泵具有簡單、耐用等特點，并具有很強的粉塵和腐蝕性氣體處理能力，是適合您應用的明智之選。 全文
請問：維修Edwards二手分子泵要注意哪些細節？求解答
當出現警告信息“ EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards二手分子泵之前，請確保水路暢通。 當出現其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。 全文
