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磁懸浮分子泵真空度
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  • 在真空技術領域,真空度(通常以壓強表示,如Pa、mbar、Torr)是衡量系統內氣體稀薄程度的指標。磁懸浮分子泵(FMB)憑借其革命性的無接觸磁軸承技術,在實現并維持極高真空度方面展現出性能。

    真空度的價值:

    真空度是衡量氣體分子密度和平均自由程的關鍵參數。更高的真空度(更低的壓強)意味著:

    1.分子密度極低,碰撞減少。

    2.分子平均自由程顯著增長,氣體行為更接近分子流態。

    3.為精密制造(如半導體光刻)、前沿科研(粒子、表面分析)和特殊工藝(鍍膜)提供無污染的純凈環境。

    磁懸浮分子泵通過無油磁軸承技術,克服了傳統機械軸承泵的污染和轉速限制,實現了超高轉速、零潤滑劑污染、極低放氣率和的極限真空度(常達10^{-8}-10^{-9}Pa)。它不僅是快速獲得高真空的工具,更是實現和維持超高/極高真空這一純凈、無擾實驗與生產環境的關鍵保障,為現代前沿科技和制造提供了不可或缺的真空基礎。

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