復合分子泵作為高/超高真空系統的設備，其性能直接關系到真空環境的品質與穩定性。對現有復合分子泵進行升級改造，重點在于提升極限真空度、增加抽速、優化能耗比及增強可靠性。

關鍵技術升級方向：

1.復合結構優化：改進渦輪級與分子級的匹配設計，優化葉片幾何構型與級間流道，減少氣體返流，提升壓縮比。采用計算流體動力學（CFD）輔助設計，實現流場分布化。

2.材料應用：關鍵轉子部件采用高強度輕質合金或碳纖維復合材料，顯著降低轉動慣量，提限轉速及動態穩定性；摩擦副選用自潤滑耐磨材料，延長使用壽命。

3.驅動與控制升級：采用高精度無刷直流電機搭配矢量變頻控制，實現轉速調節與快速啟停；集成智能控制器，具備過載保護、振動監測、故障診斷及遠程通訊功能。

4.密封與散熱強化：優化軸密封結構，選用全金屬密封或特殊聚合物密封圈，保障高真空側密封性能；改進冷卻通道設計，提升散熱效率，確保高溫工況下的持續運行能力。