

復合分子泵(HybridMolecularPump,HMP)是結合了渦輪分子泵(TMP)高速抽氣能力和牽引分子泵(DP)寬泛工作壓力范圍、高壓縮比優勢的真空獲得設備。它通常采用前級渦輪葉片結合后級螺旋槽或牽引葉片的復合結構設計,能夠在極寬的壓力范圍內(從大氣壓附近直至超高真空)、穩定地工作,特別適用于需要快速抽至高真空及超高真空,且對抽氣能力、極限真空、抗返流性能要求苛刻的領域。
技術服務內容:
1.選型咨詢與方案設計:基于客戶的具體應用場景(如半導體工藝、分析儀器、科研實驗、鍍膜、光伏等)、工藝氣體、所需極限真空、抽速要求、空間限制等因素,提供的復合分子泵選型建議和整體真空系統解決方案。
2.安裝、調試與啟動:提供的現場安裝指導或服務,確保泵體安裝正確、連接可靠(法蘭、電纜、冷卻管路等)。進行系統調試,包括與控制器、前級泵的聯調,參數設置優化,確保泵組達到佳性能狀態。
3.運行維護與保養:提供定期巡檢、性能檢測(如抽速、極限真空測試)、預防性維護計劃(如軸承狀態監測、潤滑油脂更換建議)、部件壽命評估等服務,以延長設備使用壽命,保障系統穩定運行。
4.故障診斷與維修:當泵組出現異常(如異響、振動過大、抽速下降、極限真空變差、無法啟動等)時,提供快速、的遠程或現場故障診斷服務。具備修復組件(如轉子組件、軸承、電機、密封件等)的能力,提供原廠或備件更換服務。
5.性能優化與升級:針對運行中的系統,提供性能優化建議(如優化抽氣曲線、節能運行模式)。對于老舊系統,可提供泵體升級或替換服務,提升整體真空系統效能。
6.技術培訓與支持:提供關于復合分子泵原理、操作規范、日常維護要點、常見問題處理等方面的技術培訓,提升客戶技術人員的操作和維護能力。提供持續的技術咨詢支持。
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