復合分子泵（通常指渦輪分子泵與牽引分子泵組合的復合結構）是真空設備的部件，廣泛應用于半導體制造、精密鍍膜、高能物理研究、材料科學實驗室等對真空度和清潔度要求極高的領域。
總結來說，復合分子泵的價格范圍大致在：
*入門級/小型號：幾萬元至十幾萬元。
*主流工業/科研應用型號：十幾萬元至幾十萬元。
*大型/超高抽速/型號：幾十萬元至上百萬元甚至更高。
敢問大家，維修Edwards進口分子泵時需要注意什么？
檢查真空表是不是出現了問題，Edwards進口分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟，機械泵是否旋轉，系統是否漏氣。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉。分子泵.. 全文
當真空泵出現氣密性破壞改怎么處理？知道的請回答
其次，應當打開氣鎮，讓泵運行30min左右，來抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽，排除可壓縮蒸汽對極限真空度的影響。 全文
半導體真空泵維修
半導體真空泵的維修涉及多個關鍵步驟和注意事項，以下是關于其維修的簡要說明：首先需準確診斷故障。通過觀察泵的外觀、聽運行聲音及測量真空度等方式初步判斷原因。常見故障包括吸力不足、噪音過大等；應針對具體問.. 全文
誰能回答一下：萊寶渦輪分子有什么特點？
萊寶渦輪分子泵均不采用油潤滑軸承可以從理論上*避免分子泵對腔體產生碳氫化合物污染并且保證所有分子泵均可以任意角度安裝。 全文
