復合分子泵作為高真空系統的設備，其穩定運行至關重要。常見故障及處理方式如下：

1.真空度異常

*現象：抽速下降，極限真空度無法達到。

*處理：

*檢查前級真空是否達標（通常需≤10Pa），確保前級泵工作正常；

*排查系統泄漏：使用氦質譜檢漏儀檢測法蘭密封圈、焊縫等關鍵部位；

*清潔泵體：若存在油蒸氣污染，需拆卸清洗轉子及泵腔（使用無殘留溶劑）；

*檢查電源頻率穩定性，確保電機轉速符合設計值。

2.異常振動與噪聲

*現象：運行中出現機械碰撞聲或高頻嘯叫。

*處理：

*立即停機，檢查轉子動平衡：軸承磨損或葉片變形需校正；

*排查安裝底座：確保泵體水平固定，消除外部振動源；

*檢測冷卻系統：過熱可能導致部件膨脹摩擦，清理散熱通道。

3.電機過熱停轉

*現象：溫控保護頻繁觸發。

*處理：

*測量繞組電阻：線圈短路需更換電機定子；

*檢查軸承潤滑：補充高溫潤滑脂（如氟化脂）；

*驗證散熱風扇運行狀態，清理風道灰塵。

注意事項：

*任何拆卸操作前必須對系統充分放氣，防止油霧反擴散；

*轉子組件裝配需工裝，建議返廠維修；

*定期更換前級泵油（建議5000小時），可有效延長分子泵壽命。

>預防建議：建立運行日志，記錄泵體溫度、電流值等參數變化趨勢，實現預測性維護。對于設備，建議配備振動監測儀實時預警。