復(fù)合分子泵是現(xiàn)代超高真空系統(tǒng)的動力源，由渦輪分子泵段與牽引分子泵段復(fù)合而成。其工作原理基于高速旋轉(zhuǎn)的葉片對氣體分子的動量傳遞：渦輪段葉片以數(shù)百米每秒的線速度撞擊氣體分子，實現(xiàn)氣體分子的定向高速傳輸；牽引段則利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子與定子間狹窄縫隙產(chǎn)生的粘滯牽引效應(yīng)，將氣體分子從入口端拖曳至出口端。這種復(fù)合結(jié)構(gòu)使分子泵兼具渦輪泵的高抽速和牽引泵的極限真空優(yōu)勢，極限真空可達(dá)10??Pa至10??Pa量級。

在精密檢測領(lǐng)域，復(fù)合分子泵展現(xiàn)出獨值：

-無油污染保障：全干式運行規(guī)避了油擴散泵的返油污染，為表面分析（如XPS、AES）、電子顯微鏡等儀器提供超潔凈真空環(huán)境；

-快速抽氣能力：渦輪段的高抽速特性（可達(dá)1000L/s以上）大幅縮短系統(tǒng)抽氣時間，提升檢測效率；

-穩(wěn)定超高真空：牽引段對低質(zhì)量數(shù)氣體（如氫氣）的高壓縮比特性，確保分析腔室獲得穩(wěn)定的超高真空本底；

-緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計：模塊化結(jié)構(gòu)易于集成到精密儀器中，滿足空間受限的檢測設(shè)備需求。

目前，復(fù)合分子泵已成為半導(dǎo)體缺陷分析、材料表面科學(xué)研究、高能物理探測器等檢測裝備的真空解決方案。隨著納米技術(shù)及科技的發(fā)展，其低振動、低電磁干擾的特性將進(jìn)一步推動精密測量領(lǐng)域的突破。