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為什么會出現這樣奇怪的現象?為什么更好的分辨率卻沒有得到更真實的圖像?前面我們已經說到,復眼透射電鏡技術服務,電子束是由掃描線圈的脈沖信號控制,電子束在試樣表面并不是連續掃描,而是逐點跳躍式的掃描。一般掃描電鏡的采集像素比較大,我們會誤以為是連續掃描。既然掃描電鏡是束斑間斷跳躍式的軌跡,那么電子束就有一定的覆蓋面積。

束斑中心的距離取決于放大倍數和采集像素大小。當束斑較大時,束斑覆蓋比較;但是當束斑減小時,束斑的覆蓋區域也越來越小,所以有的特征形貌會從束斑兩個跳躍中心穿過而沒有被覆蓋到,所以相應的形貌特征也不會反映在圖像上,這就造成了信息的丟失。像上述例子,在大倍數小,束斑之間跳躍間距小,足夠覆蓋特征形貌,但是縮小倍數后,跳躍距離變大,束斑不足以覆蓋所有的特征形貌,有的線條就反映不出來。

在一定的界限內,燈絲發射出來的自由電子量與加熱電流強度成正比,但在超越這個界限后,電流繼續加大,只能降低燈絲的使用壽命,卻不能增大自由電子的發射量,我們把這個臨界點稱做燈絲飽和點,意即自由電子的發射量已達“滿額”,無以復加。正常使用常把燈絲的加熱電流調整設定在接近飽和而不到的位置上,稱做“欠飽和點”。這樣在保證能獲得較大的自由電子發射量的情況下,可以限度地延長燈絲的使用壽命。鎢制燈絲的正常使用壽命為40h左右,現代電 鏡中有時使用新型材料六硼化鑭(LaB6)來制作燈絲,其價格較貴,但發光、亮度大(能提高一個數量級),并且使用壽命遠較鎢制燈絲長得多,可以達到1000h ,是一種很好的新型材料。

透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope,簡稱TEM),可以看到在光學顯微鏡下無法看清的小于0.2um的細微結構,這些結構稱為亞顯微結構或超微結構。要想看清這些結構,就必須選擇波長更短的光源,以提高顯微鏡的分辨率。1932年Ruska發明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡,電子束的波長要比可見光和紫外光短得多,并且電子束的波長與發射電子束的電壓平方根成反比,也就是說電壓越高波長越短。TEM的分辨力可達0.2nm。

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