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掃描電子顯微鏡類型多樣,不同類型的掃描電子顯微鏡存在性能上的差異。根據電子種類可分為三種:場發射電子、鎢絲和六硼化鑭  。其中,場發射掃描電子顯微鏡根據光源性能可分為冷場發射掃描電子顯微鏡和熱場發射掃描電子顯微鏡。冷場發射掃描電子顯微鏡對真空條件要求高,束流不穩定,發射體使用壽命短,需要定時對針尖進行清洗,僅局限于單一的圖像觀察,應用范圍有限;而熱場發射掃描電子顯微鏡不僅連續工作時間長,還能與多種附件搭配實現綜合分析。在地質領域中,我們不僅需要對樣品進行初步形貌觀察,還需要結合分析儀對樣品的其它性質進行分析,所以熱場發射掃描電子顯微鏡的應用更為廣泛。

陰極 陰極是產生自由電子的,鐵死亡透射電鏡檢測,一般有直熱式和旁熱式2種,旁熱式陰極是將加熱體和陰極分離,各自保持獨立。在電鏡中通常由加熱燈絲(filament)兼做陰極稱為直熱式陰極,材料多用金屬鎢絲制成,其特點是成本低,但亮度低,壽命也較短。燈絲的直徑約為0.10~0.12mm,當幾安培的加熱電流流過時,即可開始發射出自由電子,不過燈絲周圍必須保持高度真空,否則就象漏氣燈泡一樣,加熱的燈絲會在傾刻間被氧化燒毀。燈絲的形狀常采用的是發叉式,也有采用箭斧式或點狀式的,后 2種燈絲發光亮度高,光束尖細集中,適用于高分辨率電鏡照片的拍攝,但使用壽命更短。

在一定的界限內,燈絲發射出來的自由電子量與加熱電流強度成正比,但在超越這個界限后,電流繼續加大,只能降低燈絲的使用壽命,卻不能增大自由電子的發射量,我們把這個臨界點稱做燈絲飽和點,意即自由電子的發射量已達“滿額”,無以復加。正常使用常把燈絲的加熱電流調整設定在接近飽和而不到的位置上,稱做“欠飽和點”。這樣在保證能獲得較大的自由電子發射量的情況下,可以限度地延長燈絲的使用壽命。鎢制燈絲的正常使用壽命為40h左右,現代電 鏡中有時使用新型材料六硼化鑭(LaB6)來制作燈絲,其價格較貴,但發光、亮度大(能提高一個數量級),并且使用壽命遠較鎢制燈絲長得多,可以達到1000h ,是一種很好的新型材料。

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