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特種氣體的重要性：電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多，用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性，特種氣體在集成電路領域的應用：特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導體產業鏈的 上游，工業特種氣體生產廠家，被稱為半導體的“源”，主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。特種氣體在太陽能電池中的應用：非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。
特種氣體在太陽能電池中的應用：晶體硅電池片生產中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，特種氣體哪家好，刻蝕工藝用到 CF4；特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標準氣體三大類，電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的 一個重要分支，是超大規模集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業生產不 可或缺的原材料。特種氣體在太陽能電池中的應用：非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。
20 世紀 80 年代，電子產 業的興起推動特種氣體的需求提高，合肥特種氣體，隨著氣體供應商供氣模式的引入，國內 企業原有的氣體車間、氣體廠和供氣站等紛紛發展為獨立的氣體公司，電子特種氣體，國內特種氣體市 場逐步發展起來。特種氣體種類：廣義的“電子氣體”指可用于電子工業生產中使用的氣體，是重要原材料之一， 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導體領域生產的特種氣體。特種氣體種類：電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產品制程工藝中廣泛應用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。
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第9年
