凈化工程縫隙密封截面應清理干凈,密封嵌縫材料應選擇不含刺激性揮發物、耐老化、抗腐蝕的中性材料,用于表面的應加抑菌劑;密封膠嵌固前,三類器械凈化車間改造,應將待密封溝槽內的雜質、油污清除干凈,并保持表面干燥;不同裝飾材料相接處采用彈性材料密封時,黃光凈化車間改造,應預留其適當寬度和深度的槽口或縫隙,山東凈化工程有防霉要求的場合不應用玻璃膠、硅膠類密封膠,應用中性密封膠,并應在密封膠中加入抑菌劑,張家口凈化車間改造,涉及半導體或有耐堿要求的凈化車間不應用硅密封膠。
潔凈隧道:以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,激光切割凈化車間改造,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。潔凈管道:將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為更適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。并裝局部無塵室:將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
在10萬級凈化車間中,允許粉塵顆粒數為0.5百萬或以上的顆粒數量不得超過350萬顆,顆粒數大于或等于5微米的顆粒數不得超過20,000顆。0.5微米的概念是什么?發束的直徑約為70-100微米,細菌的大小約為1微米至2微米。通過凈化空氣系統,大于或等于5微米的顆粒數量不應超過20,000。所以10萬級凈化車間的凈化程度非常高。
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