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特種氣體的主要生產工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測等步驟，其中氣體的純化、混配等是氣體公司的競爭力。特種氣體是指在特定領域中應用的對純度、品種、性質有特殊要求的氣體，隨著科學研究、自動化技術、精密檢測（特別是微電子技術）的發展，特種氣體成為工業氣體市場規模增長新動力，廣泛應用于半導體、LED、光纖光纜等新興行業。特種氣體是工業氣體中的一個新興門類，是隨著近年來科學研究、自動 化技術、精密檢測，特別是微電子技術的發展而發展起來的。
特種氣體分類：高純氣體通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純 度的氣體，對于不同類別的氣體，純度指標不同，大多用于超大規模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領域；特種氣體在太陽能電池中的應用：晶體硅電池片生產中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，特種氣體，刻蝕工藝用到 CF4；20 世紀 80 年代，電子產 業的興起推動特種氣體的需求提高，隨著氣體供應商供氣模式的引入，國內 企業原有的氣體車間、氣體廠和供氣站等紛紛發展為獨立的氣體公司，國內特種氣體市 場逐步發展起來。
特種氣體指半導體生產環節中，比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體，電子特種氣體價格，也就是氣體類別中的電子氣體，特種氣體分類：電子氣體是指用于半 導體及其它電子產品生產的氣體，目前，我國電子氣體品種基本齊全，電子特種氣體廠家，但數量和質量與 發達國家相比，特種氣體廠家，尚有較大差距；特種氣體在太陽能電池中的應用：晶體硅電池片生產中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；
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第9年
