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航天技術的不斷發展, 泄漏問題已經成為航天產品設計制造中必須考慮的關鍵因素,越來越多的收到各方關注,相關電子元器件漏率檢測已經引起科研人員的高度重視,目前應用檢漏技術的主要是為密封繼電器、集成電路外殼。.利用氫質譜檢漏儀可以方便地對密封繼電器作漏率測定。針對不同的產品,采用合適的檢漏方法。目前密封繼電器的漏率檢測主要是GJB360A-96的112實驗程序。

對檢漏方法的要求:穩定性好,即可以在足夠長時間內靈敏度;所用“示蹤氣體”在空氣中含量低,無毒,不腐蝕零件;氦質譜檢漏主要領域:空調制冷工業——壓縮機、冷凝器、蒸發器及閥門等;真空科學與工業——泵、閥門、真空規管以及鍍膜機、真空爐等真空系統;對于容積較小的部件,如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等,采用氦罩法被檢工件抽空,檢漏儀調到漏率(10-11Pa.m3/s),汽車行業檢漏廠商,然后對氦罩沖氦。

氦質譜檢漏儀用于對容器或器件的密封性進行檢測,對被檢件泄漏點進行定性、定量和定位的檢測。儀器利用內置的真空系統,將被檢氣體抽入到儀器內部,然后將該混合氣體離化,并將離子加速送入磁場當中,利用帶電離子在磁場中的偏轉效應,使氦離子與其它離子分離,通過對此氦離子信號的接收、放大和顯示,從而反映出被測器件的密封性。

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