直接觀察大試樣的原始表面。它能夠直接觀察直徑100 mm,高50 mm,或更大尺寸的試樣,對試樣的形狀沒有任何限制,粗糙的表面也能觀察,這便免除了制備樣品的麻煩,而且能真實觀察試樣本身物質成分不同的襯度(背反射電子象)。
觀察厚試樣。其在觀察厚試樣時,能得到高的分辨率和真實的形貌。掃描電子顯微的分辨率介于光學顯微鏡和透射電子顯微鏡之間。但在對厚塊試樣的觀察進行比較時,因為在透射電子顯微鏡中還要采用復膜方法,而復膜的分辨率通常只能達到10 nm,且觀察的不是試樣本身,因此,用掃描電子顯微鏡觀察厚塊試樣更有利,更能得到真實的試樣表面資料。
電子顯微鏡是使用電子來展示物件的內部或表面的顯微鏡。高速的電子的波長比可見光的波長短(波粒二象性),而顯微鏡的分辨率受其使用的波長的限制,因此電子顯微鏡的理論分辨率(約0.1納米)遠高于光學顯微鏡的分辨率(約200納米)。
透射電子顯微鏡(Transmission electron microscope,縮寫TEM),電鏡技術服務,簡稱透射電鏡 ,是把經加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關,因此可以形成明暗不同的影像,影像將在放大、聚焦后在成像器件(如熒光屏、膠片、以及感光耦合組件)上顯示出來。
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