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分子泵是高速運轉的機械設備,滾動軸承常見故障很有可能會導致泵葉子粉碎立即損毀;而當滾動軸承運行狀態欠佳時,會出現一系列的狀況,如分子泵無法啟動,揭陽varian,運作噪聲擴大,溫度或輸出功率出現異常提升等,在清除外部自然環境和進排氣管工作壓力過高外部要素后,應盡早停泵,送至維修站開展維修。

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