廣州潽拓光電科技有限公司——普發分子泵Pfeiffer 普發渦輪分子泵維護

真空泵的傳動方式：

真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機聯接。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉子軸的扭轉變形小，則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。Pfeiffer 普發渦輪分子泵維護

Pfeiffer 普發渦輪分子泵 SplitFlow 優點

緊湊設計， 占地空間小

對所有氣體的高抽吸能力和更高壓縮比

集成分子泵控制器

防護類型 IP 54 適合于工業用途

準 S2 和 UL/CSA 認證

運行數據監控保證分子泵運行安全性

電機燒壞

主要為電機定子線圈燒毀，引起原因較多，如瞬間電流過大，普發分子泵TMH521維修，電機軸承使用久了被磨損，致使軸承摩擦阻力變大，電機功率加大，引起溫度上升，燒毀電機。這時應先檢查電機軸承，番禺區普發分子泵，再檢查電機線圈。軸承損壞就更換軸承；電機線圈燒毀則應維修電機，重新繞制定子線圈。軸承和線圈損壞嚴重時，就需更換電機了。Pfeiffer 普發渦輪分子泵維護

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廣州潽拓光電科技有限公司——普發分子泵維修普發真空泵

由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，普發分子泵TMH071維修，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著我國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展，分子泵應該是我國真空泵制造業發展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開發各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。

潽拓維修/維修/保養/銷售Pfeiffer普發TMH系列：

TMH064、TMH065、TMH071、TMH200、TMH260、TMH261、TMH262 、TMH301、TMH400MP、TMH520 、TMH521、TMH532、TMH1000、TMH1001、TMH1600、TMH1601、TMH261-130、TMH261-250、TMH261-250-040、TMH261-250P-3P、TMH071-010-005P、TMH071-012-005X、TMH071-012-005X-3P等

從原理上來看，渦輪分子泵是一種在殼體中快速旋轉的渦輪，渦輪的各級都配備了多個轉子葉片。旋轉的轉子葉片之間裝有固定的定子盤，其葉片按相反方向放置。

通過旋轉的轉子葉片將動量傳遞到氣體分子，氣體分子zui初的非定向熱運動變成定向運動，即從泵的進口延軸方向移動到排氣口。

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廣州潽拓光電科技有限公司——普發分子泵普發真空渦輪分子泵

每隔3-6個月的保養內容 :

1. 真空泵油 建議使用真空泵油。

2. 新泵浦初次使用500小時后更換泵油，以后每1000-1500工作小時更換一次。

3. 換油時先將油箱內的油放完，注入少量新油，開機半分鐘后再將油放完，z后注入新泵油到規定油

位。旋片：使用周期1-2年左右（10小時/天）。

軸承：約1-2年更換（10小時/天）通常在大修保養時更換。

排氣過濾器：更換周期3-6個月（10小時/天），或當排氣口有噴油、冒煙的現象時更換。

進氣過濾器：每周清潔一次，普發分子泵TMH301聯系電話，3個月更換。

其它：注意清潔泵體，風葉及風扇罩，確保泵浦通風散熱。

普發真空推出全新 HiPace 350 和 450 渦輪分子泵，該產品特別適用于質譜分析、電子顯微術、測量技術、粒子加速和等離子體物理方面的應用。新產品的應用領域十分廣泛，除了用于分析、真空工藝和半導體技術外，還可用于真空鍍膜、研發以及工業領域。

7）真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

（8）真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

（9）真空泵的價格、運轉及維修費用。

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