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EMMI微光顯微鏡
微光顯微鏡（Emission Microscope， EMMI）是常用漏電流路徑分析手段。對(duì)于故障分析而言，微光顯微鏡（Emission Microscope， EMMI）是一種相當(dāng)有用且效率極高的分析工具。主要偵測(cè)IC內(nèi)部所放出光子。在IC元件中，激光開(kāi)封機(jī)報(bào)價(jià)，EHP（Electron Hole Pairs）Recombination會(huì)放出光子（Photon）。如在P-N結(jié)加偏壓，此時(shí)N阱的電子很容易擴(kuò)散到P阱，而P的空穴也容易擴(kuò)散至N，然后與P端的空穴（或N端的電子）做EHP Recombination。在故障點(diǎn)定位、尋找近紅外波段發(fā)光點(diǎn)等方面，微光顯微鏡可分析P-N接面漏電；P-N接面崩潰；飽和區(qū)晶體管的熱電子；氧化層漏電生的光子激發(fā)；Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等問(wèn)題.
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