




流量控制器
質量流量計 / 質量流量控制器的優點
流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準。
對于多數流量測控系統而言,數字流量計多少錢,很難避免系統的壓力波動及環境和介質的溫度變化。對于普通的流量計,數字流量計哪家好,壓力及溫度的波動將導致較大的誤差;對于質量流量計 / 質量流量控制器,則一般可以忽略不計。
準確地定量控制流量
質量流量控制器可以準確地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。

流量控制器的特點
地定量控制流量
質量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。
適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,浙江數字流量計,我們的產品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,我們的產品流量范圍可達0~5 sccm,流量范圍可達0~200 slm。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% 量程比為-- 50:1, 因此在很多領域得到廣泛應用。
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流量控制器的控制響應速度
物理時間常數
物理時間常數用希臘字母Tau來表示,數字流量計報價,是現今為數不多的用來描述響應時間的標準之一,即:控制器到達設定值某個百分比所需要的時間,被定義為1-1/e, 其中e是作為自然對數底數的無理數,其值為2.72,所以1-1/e即為設定值的63.2%。雖然該定義是一個物理標準,可能說明不了什么問題,因為余下的設定值的36.8%所花費的時間可能多于或少于之前的63.2%。從下面示波器截圖中可以看到:ALICAT?質量流量控制器僅用了7.4毫秒便到達了設定值的63.2%。
任意設定值百分比變化區域
不少質量流量控制器的技術參數采用設定值某一百分比區間內的變化來定義設備響應速度,比如:從設定值的10%到達90%所需要的時間。由于和后的 10%控制響應曲線變化,由此而得出的控制響應速度可能無法與實際的控制性能等同。如下圖所示,ALICAT?質量流量控制器用了11.4毫秒到達設定值, 從示波器波形圖中可以清晰地觀察到:50%那段跨度,低于10%和高于90%那兩段的跨度則小了很多。就該圖而言,如果按照從設定值10%到達90%所用的時間來定義設備響應速度的話,那么結論是6~7毫秒。
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