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如前所述,通過調(diào)整磁透鏡使得成像的光圈處于透鏡的后焦平面處而不是像平面上,就會(huì)產(chǎn)生衍射圖樣。對(duì)于單晶體樣品,透射電鏡能譜技術(shù)服務(wù),衍射圖樣表現(xiàn)為一組排列規(guī)則的點(diǎn),對(duì)于多晶或無定形固體將會(huì)產(chǎn)生一組圓環(huán)。對(duì)于單晶體,衍射圖樣與電子束照射在樣品的方向以及樣品的原子結(jié)構(gòu)有關(guān)。通常僅僅根據(jù)衍射圖樣上的點(diǎn)的位置與觀測圖像的對(duì)稱性就可以分析出晶體樣品的空間群信息以及樣品晶體方向與電子束通路的方向的相對(duì)關(guān)系。

由于電子的德布羅意波長非常短,透射電子顯微鏡的分辨率比光學(xué)顯微鏡高的很多,可以達(dá)到0.1~0.2nm,放大倍數(shù)為幾萬~百萬倍。因此,使用透射電子顯微鏡可以用于觀察樣品的精細(xì)結(jié)構(gòu),甚至可以用于觀察僅僅一列原子的結(jié)構(gòu),比光學(xué)顯微鏡所能夠觀察到的的結(jié)構(gòu)小數(shù)萬倍。TEM在中和物理學(xué)和生物學(xué)相關(guān)的許多科學(xué)領(lǐng)域都是重要的分析方法,如研究、病毒學(xué)、材料科學(xué)、以及納米技術(shù)、半導(dǎo)體研究等等。

由于電子束射入樣品時(shí)會(huì)發(fā)生布拉格散射,樣品的衍射對(duì)比度信息會(huì)由電子束攜帶出來。例如晶體樣品會(huì)將電子束散射至后焦平面上離散的點(diǎn)上。通過將光圈放置在后焦平面上,可以選擇合適的反射電子束以觀察到需要的布拉格散射的圖像。通常僅有非常少的樣品造成的電子衍射會(huì)投影在成像設(shè)備上。如果選擇的反射電子束不包括位于透鏡焦點(diǎn)的未散射電子束,那么在圖像上沒有樣品散射電子束的位置上,也就是沒有樣品的區(qū)域?qū)?huì)是暗的。這樣的圖像被稱為暗場圖像。

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