送風過濾設備:高效送風口選用不銹鋼結構,漂亮清潔,沖孔網板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,易清潔;送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫棉;5、高效過濾器設備前,有必要對潔凈室進行悉數清掃、擦凈,凈化空調系統內部如有積塵,應再次清掃、擦凈,到達清潔需要。如在技術夾層或吊頂內設備高效過濾器,則技術層或吊頂內也應進行悉數清掃、擦凈。









和其他產業不同,集成電路產業鏈幾乎所有環節都需要在潔凈室內完成,從單晶硅片制造,手術室凈化車間方案,到IC制造的幾乎所有環節,到IC封裝都需要在潔凈室中完成,且對于潔凈度的要求非常高。如,14納米工藝中7納米的微粒就會影響制造過程。集成電路制造過程需要的潔凈程度越來越高,對于潔凈室工程的技術提出越來越高的要求。潔凈室工程是集成電路制造環節中重要的一環,直接決定了終產品的成敗。

隨著電子信息產品越來越功能化、微型化、集成化和精密化等必然發展趨勢的推動,元器件必須具備越來越高的可靠性才能滿足市場需求,電子產業的高需求和產品需求改變了潔凈室企業的競爭方向,只有企業具備自主研發能力和自主創新能力,才能使企業滿足客戶的切身需求,從而實現可持續發展目標,才能將符合客戶需求的潔凈室設計出來。由此可以推斷,電子制造產業也將對電子潔凈廠房的設計、施工有越來越嚴格的標準。


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