濺射靶材ITO靶材的生產(chǎn)工藝?ITO靶材的生產(chǎn)工藝可以分為3種:熱等靜壓法(HIP)、濺射靶材熱壓法(HP)和氣氛燒結法。各種生產(chǎn)工藝及其特點簡介如下:
熱等靜壓法:ITO靶材的熱等靜壓制作過程是將粉末或預先成形的胚體,在800℃~1400℃及1000kgf/cm 2~2000kgf/cm 2的壓力下等方加壓燒結。熱等靜壓工藝制造產(chǎn)品密度高、物理機械性能好,但設備投入高,貴金屬靶材誰家好,生產(chǎn)成本高,產(chǎn)品的缺氧率高。







人類社會的存在,科學技術的進步和發(fā)展,已成為21世紀首要的戰(zhàn)略儲備物資,且與各國的政治經(jīng)濟和社會發(fā)展有著息息相關的緊密聯(lián)系,貴金屬靶材工藝,在已知的傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)和應用領域中,高純材料、合金、各種深加工的制品(半成品)及化學制品,已被廣泛應用到冶金鋼鐵,石油化工,有機化工,化工,貴金屬靶材多少錢,電子電器,汽車制造,光學玻璃,玻璃纖維。

眾所周知,靶材材料的技術發(fā)展趨勢與下游應用產(chǎn)業(yè)的薄膜技術發(fā)展趨勢息息相關,隨著應用產(chǎn)業(yè)在薄膜產(chǎn)品或元件上的技術改進,撫順貴金屬靶材,靶材技術也應隨之變化。如Ic制造商.近段時間致力于低電阻率銅布線的開發(fā),預計未來幾年將大幅度取代原來的鋁膜,這樣銅靶及其所需阻擋層靶材的開發(fā)將刻不容緩。另外,近年來平面顯示器(FPD)大幅度取代原以陰極射線管(CRT)為主的電腦顯示器及電視機市場.亦將大幅增加ITO靶材的技術與市場需求。此外在存儲技術方面。高密度、大容量硬盤,高密度的可擦寫光盤的需求持續(xù)增加.這些均導致應用產(chǎn)業(yè)對靶材的需求發(fā)生變化。下面我們將分別介紹靶材的主要應用領域,以及這些領域靶材發(fā)展的趨勢。


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