





為什么會出現這樣奇怪的現象?為什么更好的分辨率卻沒有得到更真實的圖像?前面我們已經說到,電子束是由掃描線圈的脈沖信號控制,電子束在試樣表面并不是連續掃描,而是逐點跳躍式的掃描。一般掃描電鏡的采集像素比較大,我們會誤以為是連續掃描。既然掃描電鏡是束斑間斷跳躍式的軌跡,那么電子束就有一定的覆蓋面積。
束斑中心的距離取決于放大倍數和采集像素大小。當束斑較大時,束斑覆蓋比較;但是當束斑減小時,束斑的覆蓋區域也越來越小,所以有的特征形貌會從束斑兩個跳躍中心穿過而沒有被覆蓋到,所以相應的形貌特征也不會反映在圖像上,這就造成了信息的丟失。像上述例子,在大倍數小,束斑之間跳躍間距小,足夠覆蓋特征形貌,但是縮小倍數后,跳躍距離變大,束斑不足以覆蓋所有的特征形貌,有的線條就反映不出來。


電子顯微鏡的工作是進入微觀世界的工作。我們平常所說的微乎其微或微不足道的東西,在微觀世界中,這個微也就不稱其微,我們提出用納米作為顯微技術中的常用度量單位,即1nm=10-6mm。
掃描電鏡成像過程與電視成像過程有很多相似之處,而與透射電鏡的成像原理完全不同。透射電鏡是利用成像電磁透鏡一次成像,而掃描電鏡的成像則不需要成象透鏡,其圖象是按一定時間、空間順序逐點形成并在鏡體外顯像管上顯示。
二次電子成象是使用掃描電鏡所獲得的各種圖象中應用泛,分辨本領的一種圖象。我們以二次電子成象為例來說明掃描電鏡成象的原理。

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