問一下：Edwards進口分子泵的維修注意事項有哪些？
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  • Edwards進口分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上，以防止松弛引起的空氣泄漏
  • 檢查真空表是不是出現了問題，Edwards進口分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟，機械泵是否旋轉，系統是否漏氣。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。
  • 當Edwards進口分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發生故障時，必須根據故障提示進行處理。
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