維修Edwards進(jìn)口分子泵要注意什么? 急!急!急!
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  • Edwards進(jìn)口分子泵不能在大氣中打開,必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵
  • Edwards進(jìn)口分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置,此時(shí)應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常,可能是分子泵電源故障。請(qǐng)聯(lián)系制造商。
  • 檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,Edwards進(jìn)口分子泵出口是否打開,機(jī)械泵油是否太臟,機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn),系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險(xiǎn)絲被燒毀了。更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路。
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