分子泵過載是什么問題?在線等
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  • 分子泵的參數設置不當也會導致分子泵過載。例如,將分子泵的抽出速度設置過高,會使得分子泵承受過大的壓力負荷,會導致分子泵過載。

  • 在分子泵的工作過程中,氣體中可能含有易于沉積的粒子,這些粒子在分子泵內部沉積堆積,降低了分子泵的抽取能力,也會導致分子泵過載。

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