各位大佬誰清楚,維修Edwards進口分子泵要注意什么？
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  • 當出現警告信息“ EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards進口分子泵之前，請確保水路暢通。 當出現其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
  • 當Edwards進口分子泵M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時，請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • 檢查真空表是不是出現了問題，Edwards進口分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟，機械泵是否旋轉，系統是否漏氣。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。
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