維修Edwards真空分子泵要注意哪些細節？ 感謝回答
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  • Edwards真空分子泵故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置，此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常，可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。
  • 打開Edwards真空分子泵之前，必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后，必須關閉冷卻水閥。
  • Edwards真空分子泵每次停機后，必須清洗每個分子泵的入口，以保持其清潔，以避免不必要的損壞。
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